什么是ito靶材?

2022-05-06科技635

ITO粉末和ITO靶材是三氧化二铟和二氧化锡的混合物,是ITO薄膜制备的重要原料,ITO薄膜由于对可见光透明和导电性良好的特性,广泛应用于液晶显示玻璃、幕墙玻璃和飞机、汽车上的防雾挡风玻璃等。 ITO靶材主要质量指标 化学成分In2O3 SnO2=9010(wt%) 纯度≥99.99% 相对密度~99% 密度均匀性偏差≤±0.3% 相结构单一立方In2O3相 失氧率<=3% 单片最大尺寸250mm x 200mm ,厚度可按用户要求任意。 ITO靶主要用于ITO膜透明导电玻璃的制作

ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。ito薄膜是利用ITO靶材作为原材料,通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上。ITO薄膜具有导电性和透光性,厚度一般30纳米--200纳米。

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